Узбекские ученые изобрели способ травления карбида кремния
Ташкент. 29 октября. УзТАГ – Ученые из Физико-технического института Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» имени С.А.Азимова Академии наук Республики Узбекистан изобрели способ травления карбида кремния, сообщает Узбекское телеграфное агентство (УзТАГ) со ссылкой на информацию, размещенную на сайте Агентства по интеллектуальной собственности.
«Этот способ используется в химической обработке полупроводниковых материалов при изготовлении приборных структур на основе монокристаллов карбида кремния и его монокристаллических пленок на различных подложках», - говорится в сообщении.
Согласно информации, «его задачей является создание низкотемпературного химического способа травления поверхности, позволяющего получать зеркально гладкую поверхность карбида кремния с малой концентрацией дефектов, с возможностью проведения селективного травления».
